飞机、导弹、坦克、舰船等军事设备上, 平台用得很多, 典型的稳定平台系统需用加速度传感器和陀螺仪各3只。MEMS加速度传感器和陀螺仪由于其许多优点可望在平台系统使用。据Gabriel等人所作比较, 常规的惯性测量元件重量为1587g、尺寸为15cm×8cm×5cm, 功耗35W, 价格达3万美元。MEMS测量单元集成了加速度计和陀螺, 其重量降低了150倍, 体积缩小了300倍, 成本降低了60倍, 且抗过载能力提高了约3个数量级。不难看出, MEMS惯性测量单元在平台上具有相当大的竞争力。

       MEMS陀螺仪还可用于航空航天电子设备、自动驾驶仪、炮座、坦克转塔、跟踪天线和弹射座椅上。

       目前, MEMS陀螺仪虽然在可靠性和技术成熟程度上比不上MEMS加速度传感器, 但是在实验室已能提供性能相当好的样品, 因而在近期内应用MEMS惯性测量元件的平台无疑将被提到日程上来。