就全球发展现状而言,现有的惯性传感器已经可以满足当前各种不同导航任务的精度指标要求。未来的主要目标是降低器件的成本、体积/重量和功耗等,具体包括以下几个方面:
① 材料和工艺:生产厂商采用低劳动密集型生产模式和批量处理技术,选用硅片、石英、或结合光电材料(如铌酸锂)等新型材料,制造惯性传感器。
② 成本:包括产品自身成本和操作维护费用。由于大规模的批量生产,惯性传感器成本在大幅下降。
③ 体积:惯性测量传感器在不断向轻量化、小型化、微型化方向发展;未来一些新型的惯性传感器将无法用肉眼识别,如:NEMS(Nano—Electro—Mechanical System)和光学NEMS 。
④ 研究热点:一方面集中在小型化MEMS惯性器件的性能提高和有效封装上,另一方面集中在光学传感器上,尤其是对采用集成光学的FOG的研究。
⑤ 期望:在各个精度级别上,均能获得尺寸小且价格低廉的惯性传感器。
惯性传感器的发展情况直接决定了惯性导航系统的开发和应用,惯性传感器自身的成本、体积和功耗影响了惯性导航系统的相应参数指标。因此,惯性测量传感器的发展须要权衡以下几个因素:精确性、连续性、可靠性、成本、体积/重量、功耗。
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