1.摆片精密研磨

      摆片研磨是利用压嵌在磨盘上的磨料通过两个研磨盘加压一定的压力让摆片与磨盘做相对运动从而对工件表面进行精密加工低刚度摆片的凸台摆放及外环的加工主要靠研磨加工。

2.摆片刻蚀加工

      梁的加工采用的是化学刻蚀方法摆片材料为石英玻璃不熔融的大多数强酸但熔融酸及--一些含氟离子的盐溶液目前行业内大多都采用酸刻蚀摆片

      在低刚度摆片刻蚀工艺研究中初步设计了专用的高级掩膜膜工装包括精度检测辅助工装确保高精度摆片的精准刻蚀工装的设计主要考考虑以下几个因素

      定位精准度，便于拆卸不损伤摆片，能承受酸的腐蚀，结构简单操作方便

      工装设计中拾取抗腐蚀性能更好的氟硅橡胶和因而青铜作为掩膜材料

      此时在刻蚀方法上采取分步刻蚀浸入腊保护方案梁的刻蚀最关键的工艺中采用多次刻蚀方案完成刻蚀过程中对刻蚀温度进行了反复摸索对刻蚀时间刻蚀速率进行了精确的计算并增加了多次检测连续最终将摆片梁的加工精度准确地控制在

      最后分析解决刻蚀中最常见的两个关键问题，其中梁刻蚀中的亚表面质量问题最常见分析其机理为放置片表面存在缺陷或损伤经酸浸蚀缺陷部位的活化能小反应速率快随手着时间的延长缺陷部位的腐蚀速率与完好表面的腐蚀速率出现显着的差异刻蚀后质量缺陷暴露出来分析其导致为

      摆片原材料缺陷，摆片磨研过程中的损伤，摆片激光切割后的残留裂纹

      针对以上三种原因通过严格控制原材料的质量对磨研激光切割工艺进行细化研究严格控制加工质量避免问题反复

       梁断裂问题屡见不鲜不刚低刚度摆片梁很薄安装清洗检测操作时都非常容易断裂目前主要通过工艺防护及详细的操作规范控制成活率随后又需进一步研究刻蚀防护工艺。