低刚度石英加速度计摆的切割工艺

摆片激光切割是用激光器利用经聚焦的高功率密度激光束照射工件在超过阈值功率密度的前提下热能被材料吸收由此引起照射点材料温度急剧上升达到沸点后材料开始气化并形成孔.洞  随着光束与工件的相对移动最终使材料形成切缝切缝处的熔渣被-定压力的辅助气体吹除从而达到切割的效果

低刚度摆片切割质量主要与激光切割设备的输出功率切割速度焦距气体压力等相关课题组利用正交试验法开展了切割工艺参数研究试验经过多次反复摸索得出了最佳匹配参数利用最佳切割参数加工了余片摆片 经检测  摆片符合指标要求不符合要求的摆片还需进一步分析原因激光切割后进行了高温退火去应力处理检测应力值在合格范围内

摆片镀膜是指将摆片连同定位工装置于真空室中通过蒸发源加热使蒸气的原子或分子从蒸发源:表面逸出由于空间气体分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸因此很少与其他分子或原子碰撞可直接到达摆片表面凝结后形成薄膜

低刚度石英加速度计摆的镀膜工艺

镀膜工艺研究中首先对镀膜工装进行精确设计然后开展多次试验反复应用其次是调整镀膜设备工艺参数主要包括设备真空度烘烤温度烘烤时间镀膜时间等多项参数不同的镀膜设备，镀膜工艺会有所不同。

在低刚度摆片加工工艺研究中研磨工艺研究为低刚度摆片提供了高精度的尺寸基准优质的表面质量适当的残余应力激光切割工艺准确的控制了摆片的成型尺寸刻蚀工艺精确的控制了摆片梁等关键尺寸的成型精度镀膜工艺完善了摆片的电气功能这四序工艺领域跨度大相互独立但要研制出高精度的低刚度摆片必须将其有机结合并不断优化改进