MEMS IMU的常见技术参数:

(1)量程

MEMS惯性器件在开机后系统稳定输出后观测信息中包含的误差，可以通过静态情况下的初始化求取均值消除

(2)非线性度.

(3)初始偏置误差

MEMS惯性器件在开机后系统稳定输出后观测信息中包含的误差，可以通过静态情况下的初始化求取均值消除

(4)对齐误差

MEMS IMU通常具有两种类型的对齐误差，它们相互关联，但在系统级建模中具有不同应用:轴到封装和轴到轴。

轴到封装对齐误差”描述陀螺仪相对于器件封装上特定机械特性的对齐情况。将IMU安装到系统后，如果系统无法支持惯性对齐，则轴到封装对齐误差将成为整体对齐误差的主要因素之一。系统与IMU的机械接口的机械缺陷也会增加整体对齐误差。

 “轴到轴对齐误差”描述各个陀螺仪旋转轴相对于其他两个陀螺仪的相对对齐精度。在系统可以实现简单的对齐过程时，此参数影响最大，此时通常沿系统的惯性参考系中的一个轴直线移动整个组件(IMU已安装在系统平台上)，同时需要观察传感器。

(5)随机游走，噪声密度

随机游走过程:当前观测值完全由下一-时刻观测值加上现时噪声决定，即n时刻的输出由n-1时刻的输出和随机误差和加和决定陀螺角度游走过程:宽带角速率白噪声积分的结果，即陀螺从0时刻累积的总角增量误差表现为随机游走，而每- -时刻的等效角速率误差表现为白噪声

噪声密度:传感器固有噪声代表的是陀螺仪在静态惯性和环境条件下运行时其输出中的随机振动。MEMS IMU数据手册通常会提供速率噪声密度(RND)参数来描述陀螺仪相对于频率的固有噪声。此参数通常使用单位° /s/ VHz，是预测特定滤波器配置固有噪声的关键。

(6)偏置温度系数(温飘)

MEMS惯性器件的零偏会受到环境温度的影响而产生变化，针对这种影响，一种方案是对器件进行温度标定，另- -种方式是采用恒温模式