基于MEMS技术的微型惯性传感器、微型惯性导航系统是惯性导航系统向微小型化发展的重要方向，微型无人飞行器是随着MEMS技术发展而出现的用途极其广泛的新型飞行器。本文主要综述国内外MEMS惯性传感器技术的发展现状，并结合微型无人飞行器自主姿态稳定与导航的实际迫切需求，对基于MEMS惯性传感器的微型惯性导航系统的发展及其在微型无人飞行器系统中的应用进行综述，分析微型惯性系统构建和应用中的关键技术与发展思路，促进MEMS惯性技术及其应用的发展。

       MEMS惯性传感器和基于MEMS惯性传感器的惯性系统是MEMS惯性技术的主要研究内容。近年来，MEMS陀螺和加速度计在器件性能和集成度方面不断取得突破，MEMS惯性技术已成为微电子机械系统技术与导航技术等领域新的研究热点。

       微小型无人飞行器(Micro Unmanned Air Vehicle)， 也称为微型飞行器(Micro AirVehicle,MAV)，1990 年代中期美国最早提出，严格意义上，是指最大尺寸不大于15厘米的飞行器。本文中泛指微小型飞行器，可以携带- 定的任务载荷，能自主飞行。MUAV是随着MEMS技术发展而出现的一类具有广阔应用前景的新型飞行器，MEMS惯性技术直接关系到MUAV的姿态稳定、导航与自主飞行，是微型无人飞行器的重要支撑技术。

      MEMS惯性技术在微型飞行器自主飞行中应用

       自主飞行是微型飞行器系统的一个主要研究目标，姿态确定、姿态稳定与导航系统是实现上述目标的前提。采用MEMS惯性传感器，结合GPS,是在微型飞行器系统体积、重量要求和现有技术条件下，实现微型飞行器自主飞行的有效方法。