电容式微加速度计是最常见和最成熟的产品。基本原理是利用电容作为检测接口，检测惯性力引起的惯性质量的微小位移。质量由衬底上的弹性微珠支撑件支撑。检测电容器的一个板通常设置在移动块上，一个板设置在固定基板上。图2显示了一个典型的三明治型平板电容式微加速度计。此外，AD公司开发的电容式微加速度计采用梳齿阵列电容作为检测接口。电容式微加速度计灵敏度高，测量精度高，稳定性好，温漂小，功耗低，过载保护能力强。利用静电力实现反馈闭环控制，显著提高了传感器的性能。