在诸如飞机、导弹、坦克和船只等军事装备上，平台被大量使用。典型的稳定平台系统需要三个加速度传感器和三个陀螺仪。微机电系统加速度计和陀螺仪由于其诸多优点，有望在平台系统中得到应用。根据Gabriel等人的说法，传统的惯性测量组件重1587克，尺寸为15厘米×8厘米×5厘米，消耗35瓦，成本为30，000美元。微机电系统测量单元集成了加速度计和陀螺仪，重量减少了150倍，收缩了300倍，成本减少了60倍，过载电阻增加了约3个数量级。不难看出，微机电系统惯性测量单元在该平台上极具竞争力。

微机电陀螺仪也可用于航空电子、自动驾驶仪、炮架、坦克炮塔、跟踪天线和弹射座椅。

目前，虽然微机械陀螺仪在可靠性和技术成熟度方面不如微机械加速度计，但它们已经能够在实验室提供相当好的样品，因此在不久的将来，将会提到应用微机械惯性测量元件的平台。日程表就要到了。