轭由具有低温度系数和良好磁导率的软磁性材料组成。用具有良好磁导率的永磁材料的研磨机对电磁钢进行加工。

柔性片的材料是具有优异温度性能的石英玻璃，并且形状通过超声处理制成。柔性元件的加工通常采用化学刻蚀方法，或者也可以采用反应离子刻蚀工艺来加工整个柔性片，但是成本很高。

由加速度引起的差分电容变化量由伺服电路中的差分电容检测器检测，其输出为电流，该电流通过电流积分器变为输出电压，然后通过跨导补偿将该电压转换为输出电流放大器。此输出电流的大小It与输入加速度成比例。

石英柔性加速度传感器是一种单轴转矩反馈加速度传感器，通过检测质量来检测外界的加速度信号，然后由伺服电路进行解调和放大，最终输出电流信号与加速度成正比。信号。

石英柔性加速度传感器的性能指标测量精度高，重复性好，可靠性高，体积小，重量轻，电压范围广，功耗低。

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