谐振加速度计，硅振荡加速度计，称为SOA。

张力不同时，琴弦的声音频率也不同。共振加速度计的原理是相同的。振动梁的一端固定，另一端连接质量块。当在振动梁轴向上有加速度时，梁将受到轴向力。梁中的张力发生变化，其固有频率也随之变化。如果对梁施加一定的激励，则可以通过检测其响应来测量其固有频率，然后可以测量加速度。激励的施加和响应的检测通常通过梳齿机构来实现。

SOA的特性是它通过改变二阶系统本身的特性来反映加速度的变化，这不同于电容型，压电型和光波导型的加速度计。

SOA的常见结构包括S结构和双端音叉（DETF）。下图显示了S结构的示意图。DEFT类型是添加一组相对于质量另一半的左侧对称的机制。DEFT当前是SOA的主流结构。

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